หลักการกันสะเทือนของมอเตอร์เชิงเส้นตรงเปรียบเสมือนเกมผลัก-แรงดึงระหว่างแม่เหล็ก: ส่วนที่เคลื่อนที่ (ส่วนประกอบที่กำลังเคลื่อนที่) จะถูกแขวนลอยและขับเคลื่อนไปข้างหน้าบนสเตเตอร์ (รางคงที่) ผ่านสนามแม่เหล็กไฟฟ้ากระแสสลับ ประเด็นสำคัญ ได้แก่ :
การขับเคลื่อนแบบไร้สัมผัส: สนามแม่เหล็กของคลื่นเคลื่อนที่ที่สร้างขึ้นโดยขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าจะขับเคลื่อนส่วนที่เคลื่อนที่ของแม่เหล็กถาวรไปข้างหน้า
การลอยอย่างมั่นคงในตัวเอง-: การควบคุมวงปิด-จะปรับแรงแม่เหล็กไฟฟ้า โดยรักษาช่องว่างอากาศไว้ที่ 0.1-1 มม.
ข้อได้เปรียบด้านแรงเสียดทาน-เป็นศูนย์: การใช้พลังงานลดลงมากกว่า 40% เมื่อเทียบกับบอลสกรู
อาร์เรย์แม่เหล็กไฟฟ้า: กลุ่มของคอยล์ที่จัดเรียงตามรูปแบบเฉพาะจะก่อให้เกิดสนามแม่เหล็กที่กำลังเคลื่อนที่
เซ็นเซอร์ตำแหน่ง: "ตา" ที่ให้การตอบสนอง-แบบเรียลไทม์เกี่ยวกับตำแหน่งของชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว ด้วยความแม่นยำ-ระดับไมครอน
ระบบควบคุม: "สมอง" ที่ปรับกระแสหลายพันครั้งต่อวินาทีตามข้อมูลเซ็นเซอร์
การใช้งานทั่วไปสามารถเห็นได้ในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:
สภาพแวดล้อมที่สะอาด: ไม่มีฝุ่น เหมาะสำหรับห้องคลีนรูม
ความเร็วและความแม่นยำสูง: การเร่งความเร็วสูงสุด 10 ม./วินาที ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง ±1μm
อายุการใช้งานยาวนาน: ไม่มีชิ้นส่วนที่สึกหรอทางกลไก รอบการบำรุงรักษาขยายออกไป 5 เท่า
